2023年度國家自然科學基金指南引導(dǎo)類原創(chuàng)探索計劃項目——“芯片亞納米級制造前沿探索”項目指南

　　為貫徹落實黨中央、國務(wù)院關(guān)于加強基礎(chǔ)研究和提升原始創(chuàng)新能力的重要戰(zhàn)略部署，國家自然科學基金委員會（以下簡稱自然科學基金委）工程與材料學部擬資助“芯片亞納米級制造前沿探索”原創(chuàng)探索計劃項目（以下簡稱原創(chuàng)項目）。

　　后摩爾時代芯片先進制程工藝將邁入1 nm節(jié)點，亞納米級制造貫穿芯片制造工藝的全流程。然而，亞納米制造涉及從經(jīng)典連續(xù)力學行為到量子行為的跨越，存在原子間、原子與能場間復(fù)雜的相互作用，因此亟需發(fā)展面向未來芯片的亞納米級制造新原理與新方法。

　　一、科學目標

　　本項目圍繞未來芯片制造面臨的共性基礎(chǔ)科學問題，旨在通過揭示表界面亞納米級尺度的定域、定量、定勢調(diào)控機制，建立亞納米級精度表面與結(jié)構(gòu)的可控加工方法，為發(fā)展原子級制造開展先導(dǎo)性探索，支撐新一代芯片制造關(guān)鍵工藝和裝備能力的升級換代。

　　二、資助方向

　　（一）芯片制造過程中的亞納米級去除新原理與新方法。

　　開展多元互連異質(zhì)表面亞納米級可控去除基礎(chǔ)研究，探索亞納米級可控去除的限域作用機理及多源能量調(diào)控機制，發(fā)展外場調(diào)控多元異質(zhì)材料亞納米級同步去除技術(shù)，形成宏觀尺度互連異質(zhì)表面亞納米級一致去除控制的拋光工藝、技術(shù)與裝備。

　?。ǘ┬酒冗M制程中的三維亞納米級結(jié)構(gòu)構(gòu)筑新原理與新方法。

　　開展極小尺度、極高深寬比亞納米結(jié)構(gòu)精準制造基礎(chǔ)研究，探究原子級表面改性與反應(yīng)調(diào)控機制，發(fā)展亞納米級表面改性的壓印模板制造與選區(qū)沉積技術(shù)，形成芯片三維互連亞納米結(jié)構(gòu)的壓印成形與原子級精準沉積制造工藝與裝備。

　?。ㄈ┑谒拇雽?dǎo)體材料的亞納米級制造新原理。

　　發(fā)展金剛石等第四代半導(dǎo)體材料的“時-空-頻”多參數(shù)協(xié)同調(diào)控的激光制造等亞納米級制造新原理新技術(shù)；開展典型構(gòu)件幾何特性、物化特性的跨尺度表征，建立其性能和制造之間的關(guān)系。

　?。ㄋ模┬酒瑏喖{米級制造過程中的缺陷檢測與修復(fù)。

　　探索芯片亞納米級制造過程中缺陷的形成機制，研究缺陷對外部能場的限域反應(yīng)機制，發(fā)展超高時空精度的表面、亞表面缺陷一體化檢測技術(shù)，揭示外加能場作用下原子有序重構(gòu)規(guī)律，形成基于原子排布精準調(diào)控的缺陷消除和修復(fù)新方法。

　　三、資助計劃

　　本原創(chuàng)項目資助期限為3年，申請書中研究期限應(yīng)填寫“2024年1月1日－2026年12月31日”。計劃資助4-5項，平均資助強度200萬/項。

　　四、申請要求

　　（一）申請資格。

　　具有承擔基礎(chǔ)研究項目（課題）或其他基礎(chǔ)研究經(jīng)歷的科學技術(shù)人員均可提出申請。

　?。ǘ┫揄椛暾堃?guī)定。

　　1.申請人同年只能申請1項原創(chuàng)項目（含預(yù)申請）。

　　2.原創(chuàng)項目從預(yù)申請開始直到自然科學基金委做出資助與否決定之前，不計入申請和承擔總數(shù)范圍，獲資助后計入申請和承擔總數(shù)范圍。

　　3.應(yīng)符合《2023年度國家自然科學基金項目指南》中對申請項目數(shù)量的限制。

　　五、申請程序

　?。ㄒ唬╊A(yù)申請。

　　1.預(yù)申請?zhí)峤粫r間為2023年11月24日－11月26日16:00時，以國家自然科學基金網(wǎng)絡(luò)信息系統(tǒng)（以下簡稱“信息系統(tǒng)”）提交時間為準，在提交時間之外提交的申請將不予受理。

　　2.請申請人登錄信息系統(tǒng)https://grants.nsfc.gov.cn撰寫預(yù)申請。沒有信息系統(tǒng)賬號的申請人請向依托單位基金管理聯(lián)系人申請開戶。在信息系統(tǒng)“申請與受理”菜單下，點擊“原創(chuàng)項目預(yù)申請”，進入預(yù)申請?zhí)顚戫撁?，選擇“指南引導(dǎo)類”，附注說明選擇“芯片亞納米級制造前沿探索”，申請代碼1應(yīng)當填寫工程與材料科學部相應(yīng)的申請代碼（“E”字母開頭），申請代碼2根據(jù)項目研究所涉及的領(lǐng)域自行選擇相應(yīng)學科申請代碼。以上選擇不準確或未選擇的項目申請不予資助。

　　3.預(yù)申請主要闡述所提學術(shù)思想的原創(chuàng)性、科學性和潛在影響力，字數(shù)控制在2000字以內(nèi)。另外，申請人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請針對的本指南所列資助方向名稱。申請人按照信息系統(tǒng)中的有關(guān)提示填寫預(yù)申請相關(guān)內(nèi)容后直接提交至自然科學基金委。

　　4.自然科學基金委受理預(yù)申請并組織審查。審查結(jié)果將以電子郵件形式反饋至申請人。

　　（二）正式申請。

　　1.預(yù)申請審查通過的申請人，應(yīng)按照“專項項目-原創(chuàng)探索計劃項目正式申請書撰寫提綱”要求填寫正式申請書。正式申請的核心研究內(nèi)容應(yīng)與預(yù)申請一致，并要求在正式申請書正文的第一句明確寫明申請項目所對應(yīng)的本指南所列資助方向。

　　2.除特別說明外，每個原創(chuàng)項目的合作研究單位數(shù)合計不超過2個；主要參與者必須是項目的實際貢獻者。

　　3.申請人應(yīng)根據(jù)《國家自然科學基金資助項目資金管理辦法》《項目資金管理有關(guān)問題的補充通知》有關(guān)規(guī)定和《國家自然科學基金項目資金預(yù)算表編制說明》的具體要求，按照“目標相關(guān)性、政策相符性、經(jīng)濟合理性”的基本原則，認真編制《國家自然科學基金項目資金預(yù)算表》。

　　4.申請人完成申請書撰寫后，在線提交電子申請書及附件材料。

　　5.依托單位應(yīng)對本單位申請人所提交申請材料的真實性和完整性進行審核。原創(chuàng)項目采用無紙化申請方式，依托單位只需在線確認并及時提交電子申請書及附件材料，并在截止時間后24小時內(nèi)在線提交項目申請清單，無需報送紙質(zhì)申請書。項目獲批準后，將申請書的紙質(zhì)簽字蓋章頁裝訂在《資助項目計劃書》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應(yīng)與信息系統(tǒng)中的電子申請書保持一致。

　　6.自然科學基金委項目材料接收工作組負責接收申請材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯(lián)系方式如下：北京市海淀區(qū)雙清路83號國家自然科學基金委員會項目材料接收工作組（行政樓101房間），聯(lián)系電話：010-62328591。

　　六、注意事項

　?。ㄒ唬┵Y助項目信息公布。

　　自然科學基金委將在官方網(wǎng)站公布資助原創(chuàng)項目基本信息。

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　　原創(chuàng)項目負責人應(yīng)將主要精力投入原創(chuàng)項目的研究中；依托單位應(yīng)加強對原創(chuàng)項目實施的監(jiān)督、管理和服務(wù)，減輕項目負責人不必要的負擔，為項目研究提供必要的制度和條件保障。

　　（三）其他。

　　原創(chuàng)項目申請與資助不設(shè)復(fù)審環(huán)節(jié)。

　　自然科學基金委將把相關(guān)項目負責人項目執(zhí)行情況和評審專家的評審情況計入信譽檔案。

　?。ㄋ模┳稍兎绞?。

　　1.填報過程中遇到的技術(shù)問題，可聯(lián)系自然科學基金委信息中心協(xié)助解決，聯(lián)系電話：010-62317474。

　　2.其他問題可咨詢工程與材料科學部綜合與戰(zhàn)略規(guī)劃處，電話：010-62326887。